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无尘室安装后高效空气过滤器的检漏

无尘室安装后高效空气过滤器的检漏

高效过滤器本体在进入现场前,生产厂家应按规定进行性能试验(其检测方法如 DOP 试验、NaCl 试验、油雾试验等) ,并提供合格证(含性能试验结果) 。

对于 5 级(100 级)以上无尘室用高效过滤器、超高效过滤器在现场应再次进行高效过滤本体及其正确安装状态进行泄漏试验。 对于 6 级及以下的生物洁净室也用此方法检漏。而在大规模集成电路生产的超洁净技术中(0.1μm,1 级) ,由于新风量往往仅是循环风量的百分之几,经过稀释上风侧也变成 6 级(1000 级)的程度,因此,在这种情况下,就必须重新考虑采用 DOP 检漏试验.

1、检测要求

一般采用粒子计数器法进行检漏,被检高效过滤器必须已检测过风量,并在设计风速的 80%~120%之间运行。实测时很多设计风量不到过滤器额定风量的 80%,由于过滤器在低风速下泄漏比例会加大,数据偏安全,有时不必再加大风量。

对于被检高效过滤器上风侧的微粒浓度符合如下要求。

对受控粒径≥0.5μm 的浓度,必须大于等于 3.5x104pc/L;

对受控粒径≤0.5μm 的浓度,必须大于等于 3.5x106~107pc/L。

2、检测方法

采用扫描法对高效过滤器安装接缝和主断面进行检测, 检测点应距离被测表面20~30mm,测头以 5~20mm/s 的速度移动,对被测过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描,粒子计数器的最小采样量大于 1L/min。

由受检过滤器下风侧测得泄漏的浓度换算成穿透率, 高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的两倍,对于 D 级超高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的 3 倍。

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